随着真空技术的发展,对真空系统或单体真空设备的自动控制亦提出了更高的要求。

例如,对于日循环次数多的系统;有些操作者不便或不能接近的,需要遥控的系统,以及真空阀门、真空泵较多,操作较频繁的系统,都迫切需要自动化控制。真空继电器就是实现自动化控制的关键元件之一。

真空继电器的种类很多,分类方法也各异,归纳起来有以下几种。

按物理机理,继电器分为力学型、热导型和电离型,分别用在低真空、中真空、高真空和超高真空的不同范围内,其中常见的有热电阻(含热敏电阻)真空继电器、薄膜真空继电器、弦丝式真空继电器、冷规式真空继电器、毫伏计式电子真空继电器和光敏电阻真空继电器等。它们各有所长,但大部分是机械式的;电子管式的有触点结构,线路的通用范围很窄。

按一次元件的不同,继电器又分为无触点和有触点两类。

凡是以电参数表征真空度的真空测量仪器均可配备继电器线路,组成无触点式真空继电器;而U形管真空计、弹簧管真空计、膜盒真空表等以机械位移表征真空度的真空计,配备继电器的线路均可组成有触点式真空继电器。综上所述可知,除压缩式真空计外,任何一种真空测量仪器均可作为真空继电器的一次元件(信号)。

按真空自动控制范围,继电器可分为定点式和有上、下限控制区间的两大类。

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